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蚀刻检验作业指引

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  • 蚀刻检验作业指引-表格模板文件编号适用范围页 码编 制审 核批 准,文件名称蚀刻检验作业指引Film Sensor1/1/,作业指引修订履历表版本修订日期内容,A0初版发行,上岗证要求工序类别工序投入主材料名称列表关键辅材料名称列表检验工具名称列表,有/ITO film无菲林卡尺/膜厚仪/粘胶笔,图示/参考事项,检验图片NO项目检验标准检验方法检验工具检验频次记录表单应急对策备注,产 品 品 质 特 性外观1.蚀刻后保留图案应正确 。 2.外观无透空、无蓝点、无渗透、毛边、连线 。 3.FILM蚀刻无变形、折伤。 4.蚀刻后材料表面无污渍、水渍、折伤、刮花,导电膜无脱落。用菲林卡尺/二次元测量缺陷面积 （图一、二、三）菲林卡尺/二次元1.生产;全检 2.首件:3sheet 3.品质抽检：随线抽检1.生产流程单 2.首件确认单 3.巡检报表发现1Sheet异常停机改善,回路电阻蚀刻阻抗符合《工艺流程卡》要求用万用表的两支探针分别测试已被蚀刻的Film ITO区域看其阻抗是否符合工艺流程卡》要求 （如图四）万用表1.生产;每批检查 2.首件:3sheet 3.品质抽检：随线抽检1.生产流程单 2.首件确认单 3.巡检报表发现1Sheet异常停机改善,注：1、如出现蓝点、污点、水渍可以采取重新过碱处理，但重过碱次数不能超过2次； 2、当碱浓度测试偏低，需停机调查分析原因。如需加酸/碱时。制程人员需对过程进行监控直致碱浓度OK后才能正式生产，并,同时记录；遇大批量之蚀刻机种时,蚀刻过程中, IPQC人员与生产人员应随时与首件核对,防止中途遇变，影响品质； ,3、根据材料特性确定是否可重过碱，请生产时严格按照规格书作业。
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  • 页数：1页
  • 时间：2019-11-28
  • 编号：20204136
  • 类型：VIP模板
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